Fachartikel aus MECHATRONIK Sonderheft Antriebstechnik 2013, S. 14 bis 15
Motoren für den Einsatz im Vakuum
Leerlauf im luftleeren Raum?
Wie sich teure Ausfallzeiten bei In-Vakuum-Prozessen vermeiden und zukünftige Anforderungen an Prozess-Verfügbarkeit und -Qualität souverän meistern lassen.
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| Mehrachsige, motorisierte Mechanik innerhalb einer Ultrahochvakuum-Kammer (Bild: Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik ) |
Vor über 30 Jahren hat Phytron-Elektronik erste Spezialmotoren für Anwendungen im Vakuum gebaut. Damals galt es in enger Abstimmung mit dem Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik in Neuried bei München Motoren für den Einsatz in einer Testanlage für hochempfindliche Satellitenkomponenten zu entwickeln. Diese hochauflösenden Schrittmotoren von 1980 sind dort nach wie vor im regelmäßigen Einsatz. Während wir die ersten Schritte der Raumfahrt noch im Röhrenfernseher verfolgt haben, sind wir inzwischen von Produkten umgeben, die nur noch unter hoch kontrollierten Umgebungsbedingungen produziert werden können. Die Fertigungsanlagen moderner Fabriken, zum Beispiel für LEDs oder OLEDs, umfassen immer häufiger auch Vakuum-Kammern – die Reinräume der neuesten Technologiegeneration. Galt es in der Wafer-Produktion der 90er Jahre noch jedes Staubkorn zu vermeiden, kompromittiert inzwischen bereits der Luftwiderstand das Fertigungsergebnis, beispielsweise bei Sputteringprozessen (sehr dünne und exakte Beschichtung von Substraten mit zerstäubtem Material).
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