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Fachartikel aus MECHATRONIK 6/2018, S. 29 bis 31

attocube systems

Wegsensor der Superlative

Der optische Messsensor IDS3010 von attocube systems vereint die extrem hohe Präzision der Interferometrie erstmals mit integrationsfreundlichen Abmessungen. Darüber hinaus ist der Sensor kompatibel für unterschiedliche Feldbuswelten und dank integriertem Webserver auch bereit für den Einsatz in Industrie 4.0-Applikationen.

Präzisionsanforderungen bis in den Sub-Nanometerbereich sind in der Halbleiterfertigung, der Produktronik und der Optik üblich. Tatsächlich befindet sich auch der Maschinenbau längst auf dem Weg in die „Nanowelt“: Im Präzisionsgetriebebau sind höhere Teilungsgenauigkeiten ein geeignetes Mittel die inneren Kräfte an den Verzahnungen besser zu verteilen. Präziser gefertigte Zahngeometrien führen zu geringeren Spannungsspitzen und höherer Belastbarkeit. Auch in mehrreihigen Wälzlagern hängt die Verteilung der inneren Kräfte entscheidend von kleinsten Fertigungstoleranzen ab, weil diese Systeme statisch überbestimmt sind. Die Präzisionsfertigung und folglich auch die Messung im Sub-Nanometerbereich sind eine wichtige Voraussetzung, bestehende mechanische Systeme zu noch mehr Leistungsdichte zu entwickeln.

Zusätzlich verstärkt die Miniaturisierung von Produkten und Produktionsprozessen den Entwicklungsdruck von der Mikro- zur Nanodimension. Dieser Dimensionssprung muss auf breiter Basis und zu überschaubaren Kosten verfügbar gemacht werden, um die Wettbewerbsfähigkeit der Produkte und eine leistungsstarke, zukunftsfähige Produktion sicherzustellen. Auf der Seite der Sensorik ist hierfür ein leicht integrierbares Ultrapräzisions-Messsystem ein sehr wichtiger Baustein.

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