Fachartikel vom 08/20/2013

Der Ringoszillator gehört zu den wichtigsten Teststrukturen für Parametertests von CMOS-Wafern

Durchlaufzeit bei Gattern

Mit den damit gewonnenen Testdaten lässt sich beispielsweise überprüfen, ob die Logikgatter die im Design vorgesehenen Geschwindigkeitskriterien erfüllen.

Immer mehr Halbleiter-Fabs integrieren Ringoszillatoren für die Prozessüberwachung in ihre Teststrukturen. Mithilfe von Frequenzmessungen an Ringoszillatoren lässt sich die Durchlaufzeit bei Gattern bestimmen. Dies ist einer der entscheidenden Parameter, um feststellen zu können, wie schnell eine digitale Schaltung arbeiten kann. Jedes Logikgatter hat eine Eingangskapazität. Da diese die Schaltgeschwindigkeit des Gatters beschränkt, kann kein Bauteil ohne Zeitverzögerung schalten. Allerdings ist diese Gatterdurchlaufverzögerung so kurz, dasssie sich mit den meisten Testsystemen nicht direkt messen lässt. Deshalb wird mit den Testsystemen eine Schwingungsfrequenz anstatt der Gatterdurchlaufzeit gemessen und die Laufzeit aus der Frequenzmessung anschließend berechnet.

Um weiterzulesen und zum vollständigen Artikel zu gelangen, finden Sie unten unser Download-PDF: