Fachartikel aus MECHATRONIK 3-4/2013, S. 50 bis 51
Drei-Achsen-MEMS-Gyroskop für Automotive-Anwendungen
Der Herzschlag für drei Dimensionen
Dieser Artikel geht detailliert auf die neuesten Technologie- und Design-Herausforderungen des Gyroskops ein, das von ST entsprechend den Anforderungen des Automotive-Markts entwickelt wurde.
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| Mechanischer Aufbau eines Drei-Chsen-MEMS Gyroskops (Bild: ST Microelectronics) |
Die Oberflächen-Mikrobearbeitungs-Technologie Thelma, die von ST zur Herstellung der Drei-Achsen-MEMS-Sensoren auf Silizium mit einem Durchsatz von 3 Millionen Stück pro Tag genutzt wird, ist entscheidend für die Optimierung solcher Bauelemente in Bezug auf Größe, Leistungsfähigkeit, Genauigkeit, Qualität und Preis. Die Miniaturisierung existierender Lösungen, die Verbesserung der Leistung durch zusätzliche Features ohne übermäßige Zunahme der Verlustleistung sowie die Integration mehrerer Sensorelemente in einem Gehäuse mit Unterstützung ausgefeilter Sensorfusions-Algorithmen – dies sind die Herausforderungen, denen sich in der Industrie zurzeit alle Akteure gegenübersehen.
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