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Fachartikel aus MECHATRONIK 10/2012, S. 48 bis 49

Mikrosysteme kostengünstig fertigen

Mut zur Lücke

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind als Mikrosysteme mit Sensoren, Aktoren und Steuerungselektronik das Herzstück unzähliger Elektronikgeräte. Kein Smartphone oder Tablet-PC, das ohne MEMS auskommt. Doch die Elektroindustrie fordert immer kleinere und kostengünstigere MEMS für den boomenden Markt.

Bild: Applied Materials
  (Bild: Applied Materials)

MEMS sind Mikrosysteme, die schon seit langem in der Automobilindustrie oder auch bei der Fertigung von Tintenstrahldruckern unverzichtbar sind. Kein Airbag und keine Druckerpatrone können ohne MEMS ihren Dienst verrichten. Doch damit nicht genug, in den vergangenen fünf Jahren ist der Einsatz von MEMS in der Konsumelektronik geradezu explodiert. Kaum ein Gerät, das heute ohne sie auskommt. 2006 debütierten die MEMS-basierten Inertialsensoren IMUs (Inertial Measurement Unit) in den Controllern von Nintendos Wii Videospiel-Konsolen. Außerhalb des heimischen Wohnzimmers lösen MEMS als Beschleunigungsaufnehmer den Airbag aus oder sind als Gyroskopen für die Fahrzeugstabilisierung via ESP (Elektronisches Stabilitätsprogramm) zuständig. Bei Smartphone und Tablet-PC messen IMUs die Neigung des Gerätes und sind dafür verantwortlich, dass sich bei Bedarf das Bild dreht.

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