News - Unternehmen und Märkte vom 09/16/2010

Optische und mechanische Komponenten schnell präzise positionieren

Die piezosystem jena GmbH, Spezialist für Mikro- und Nanopositionier, hat ein 2-Achsen Piezopositioniersystem mit einer großen Innenöffnung auf den Markt gebracht.

Die piezosystem jena GmbH, Spezialist für Mikro- und Nanopositionier, hat ein 2-Achsen Piezopositioniersystem mit einer großen Innenöffnung auf den Markt gebracht. Mit den Maßen 100 x 100 mm wurde die Innenöffnung speziell für die Implementierung an Mikroskopen und Belichtungssystemen konzipiert. Die gesamte Serie PXY AP, eigens zur schnellen und präzisen Positionieren optischer und mechanischer Komponenten entwickelt, wurde zudem für eine extrem hohe Z-Achsensteifigkeit optimiert.

Die spezielle Aktor-Parallelkinematik garantiere eine bestmögliche Führungsgenauigkeit, während die Antriebselemente im monolithischen Festkörpergelenksystem eine spielfreie Bewegung erzeugen. Das Überschwingverhalten wird durch steuerbare Zu- und Rückstellkräfte aktiv minimiert. Definierte Positionen können auch unter Volllast mit Nanometergenauigkeit in Millisekunden angefahren werden, was besonders für Highspeed-Scans ein wesentliches Kriterium ist. Im geregelten Betrieb ermögliche die Kombination mit der hochauflösenden kapazitiven Direktmetrologie des Anbieters eine extrem hohe Positionsgenauigkeit und Stabilität, Linearität und Reproduzierbarkeit.

Zusätzlich erlauben die digitalen Verstärker von piezosystem jena ein dynamisches Einstellen der PID-Regelparameter, Anstiegsbegrenzung und der Kerbfilterbandbreite vor Ort. Mit Hilfe von integrierten Wobblegenerator können mechanische Resonanzen ermittelt werden, um diese über die Kerbfilteranpassung aus dem Steuersignal zu eliminieren. Dadurch wird es vermieden, den Gesamtaufbau mit seiner Resonanz anzuregen. Dem Anwender ist es somit einfach möglich, das optimale Systemsetup abhängig vom momentanen Belastungsszenario sukzessive durch Versuch und Irrtum im laufenden Betrieb zu ermitteln.