Fachartikel aus MECHATRONIK 04/2010, S. 22 bis 24

Motorgetriebenes Regelventil

Präzision unter Druck

VAT Vakuumventile bietet Regelventile an, mit denen sich der Vakuumdruck in Prozesskammern hochpräzise regeln lässt. Kernstück der motorgetriebenen Regelventile ist ein einzelnes Verschlusselement, das mithilfe modernster Mikro-Antriebstechnik gleichzeitig an zwei Achsen bewegt wird.