Fachartikel aus MECHATRONIK 1-2/2000, S. 72 bis 78

Teil 2: Steuer- und Regelungstechnik von Piezosystemen

Systeme zur Nanopositionierung

Die Feinpositionierung bis in den Nanometerbereich hat sich in vielen Bereichen der Technik etabliert. Der zweite Teil des Übersichtsbeitrags zur Nanopositionierung stellt Aspekte der erforderlichen Steuer- und Regelungstechnik dar, ohne die eine extrem hohe Auflösung, Positioniergeschwindigkeit und Linearität der Bewegung nicht möglich wären.