Anwendungsgebiete sind die Härtebestimmung an dünnen Schichten oder die Bestimmung von Materialeigenschaften wie Elastizität, Steifigkeit, plastischer Verformbarkeit oder Bruchfestigkeit bei kleinen Objekten und Mikrosystemen z.B. in der Biotechnologie. Dazu wird eine Testspitze mit einer geringen Kraft auf eine Probe aufgebracht und der Eindringweg der Spitze gemessen. Aus diesen Messwerten lässt sich dann die Kontaktfläche errechnen und daraus wiederum die Materialeigenschaft ermitteln. Wie fast überall, wo höchste Präzision bei Wegmessung und Positionierung gefordert ist, spielen auch beider Nanoindentierung hochauflösende kapazitive Sensoren und piezobasierte Nanopositioniersysteme eine zentrale Rolle.

Ein besonders flexibles System zur Nanoindentierung stammt von der Firma Micro Materials Ltd. mit Stammsitz im englischen Wrexham. Der NanoTest (Bild 1) wird als aussagekräftiges Testsystem weltweit in unterschiedlichen Bereichen genutzt, nicht nur in Forschung und Entwicklung, sondern auch in der Produktion und beim Test von Fertigprodukten. Je nach Anwendungsfall lässt sich die Methode der Krafterzeugung und die Geometrie der Testspitze, dem so genannten Indentation-Tip, variieren.